ФемтоСкан - многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп с полным управлением через Интернет
|
Реализовано более 50 различных режимов сканирующей зондовой микроскопии, в том числе:
- контактная атомно-силовая микроскопия
- резонансная атомно-силовая микроскопия
- бесконтактная атомно-силовая микроскопия
- сканирующая фрикционная микроскопия
- сканирующая туннельная микроскопия
- туннельная спектроскопия
- сканирующая резистивная микроскопия
- электростатическая микроскопия
- магнитно-силовая микроскопия
- силовое картирование поверхности
- нанолитография
- и другие
|
А также:
- Оптическая микроскопия с передачей данных через Интернет
- Измерения на воздухе и в жидкости
- Регулируемый нагрев температуры образца
Спецификации сканирующего зондового микроскопа ФемтоСкан
Основные особенности СЗМ ФемтоСкан
Строго вертикальное начальное сближение зонда/образца
Начальный подход — шаговый двигатель
Диапазон начального подхода — до 4 мм
Величина шага начального сближения— 30 нм
Типичный тепловой дрейф —меньше 1 нм/с
Положение образца
— горизонтальное
Размер образца — до 15 мм в диаметре, 5 мм в высоту
Размер сканирования
— 2 m или 10 m
Частота сканирования — до 30 Гц
Закрепление образца
— с помощью магнитного держателя
Режим туннельной микроскопии
Измерения в режимах постоянной высоты, постоянного туннельного тока, туннельной спектроскопии
Измерение зависимостей I(U), I(Z) в выбранных точках
Диапазон регистрации туннельного тока: 10 pA - 10 nA, 0.1 pA - 1 nA (опционально)
Диапазон изменения напряжения ±9 V
Разрешение на высокоориентированном пиролитическом графите — 0.2 нм
Режим атомно-силовой микроскопии
Измерения в режимах постоянной высоты, постоянной силы, сил трения
Измерения в модуляционных режимах
Резонансная мода (полуконтакт)
Разрешение на слюде: 0.4 нм
Режим сканирующей резистивной микроскопии
Режим предназначен для получения картины распределения электрической проводимости поверхности образца одновременно с регистрацией рельефа поверхности.
Разрешение: 1 нм
Электрический ток: 300 пA - 0.3 мкA
Диапазон измерения контактного сопротивления: 1 кОм – 10 МОм
Блок электроники ФемтоСкан
Контроль данных и обратной связи осуществляется цифровым сигнальным процессором с частотой 133 MHz для арифметический операций
Максимальное напряжение X, Y, и Z высоковольтных усилителей ±135 V
7 16-битовых ЦАП с временем установления в 10 мкс для X, Y, Z, и напряжения, 3 опциональных ЦАП
2 частотных генератора, разрядностью в 32 бита
2 встроенных 16-битных АЦП с временем установления в 10 мкс
Усилитель туннельного напряжения с диапазоном выходного сигнала : ±10 V
Нагреватель образца ФемтоСкан (опционально)
Температурный диапазон — до 80 oC
Точность температуры
— 0,05 oC
Температурный дрейф в течение нагревания(максимальный) — 100 нм/ oC (вертикальное направление),
40 нм/ oC (боковое направление)
|